產(chǎn)品介紹
采用物理吸附、化學(xué)吸附相結(jié)合的工藝對(duì)NH
3中的雜質(zhì)進(jìn)行深度脫除。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域，化工與制藥領(lǐng)域
裝置特點(diǎn)
1.超高精度凈化
★ 專利催化劑技術(shù)，先進(jìn)的無(wú)損工藝設(shè)計(jì)，雜質(zhì)深度≤100ppb。
2.高穩(wěn)定性設(shè)計(jì)
★ 采用國(guó)際知名品牌元件；Swagelok全自動(dòng)軌道焊接 ，采用先進(jìn)的防爆策略，確保裝置安全、穩(wěn)定運(yùn)行
3.強(qiáng)抗波動(dòng)性能
★ 按協(xié)議值120%冗余設(shè)計(jì)，工況波動(dòng)下氣態(tài)指標(biāo)穩(wěn)定輸出。
4.抗意外能力強(qiáng)
純化裝置具有斷電保持功能。
5.智慧物聯(lián)運(yùn)維
★ 全流程自動(dòng)運(yùn)行+遠(yuǎn)程監(jiān)控
★ 故障預(yù)警聯(lián)動(dòng)+運(yùn)行數(shù)據(jù)追溯系統(tǒng)
技術(shù)參數(shù)
