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產(chǎn)品介紹
本純化器采用XX流程對氬氣、氦氣進行純化，原料氬氣、氦氣進入純化器后，經(jīng)過高溫GETTER反應(yīng)器將氬氣、氦氣中的H₂O，O₂，CO，CO₂，CH₄，N₂,NMHC等雜質(zhì)脫除至1ppb以下，流經(jīng)冷卻系統(tǒng)降至常溫再進入低溫GETTER反應(yīng)器將H₂雜質(zhì)脫除。

XX流程

工藝流程
高溫吸氣劑脫除CO₂、O₂、N₂、CO、THC、H₂O
低溫吸氣劑脫除H₂
吸氣反應(yīng)器吸附飽和后無法再生，整體更換

應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體、電子材料
高純氣體分析

產(chǎn)品特點
1.超高精度凈化
★ 專利催化劑技術(shù)，化學(xué)吸附雙效協(xié)同，雜質(zhì)深度≤1 ppb。
2.高穩(wěn)定性設(shè)計
★ 采用國際知名品牌元件；Swagelok全自動軌道焊接 ，采用先進的防爆策略，確保裝置安全、穩(wěn)定運行
3.強抗波動性能
★ 按協(xié)議值120%冗余設(shè)計，工況波動下氣態(tài)指標(biāo)穩(wěn)定輸出。
4.抗意外能力強
純化裝置具有斷電保持功能。
5.智慧物聯(lián)運維
★ 全流程自動運行+遠程監(jiān)控
★ 故障預(yù)警聯(lián)動+運行數(shù)據(jù)追溯系統(tǒng)

技術(shù)參數(shù)