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產(chǎn)品介紹
本純化器采用WX流程對氫氣進行純化，原料氫氣進入純化器后，經(jīng)過常溫吸附流程可初步將H₂O, O₂，CO₂，CO脫除至10ppb以下，床層吸附飽和后，進行再生，常溫吸附反應(yīng)器為一開一備設(shè)計，可實現(xiàn)連續(xù)工作。再經(jīng)過高溫吸附流程將氫氣中的H₂O，O₂，CO，CO₂，CH₄，N₂等雜質(zhì)脫除至1ppb以下。

WX流程

工藝流程
吸氣脫除CO₂、O₂、N₂、CO、THC、H₂O； 吸附劑脫除O₂、CO₂、H₂O
吸附反應(yīng)器吸附飽和后通氫加熱再生，雙塔切換，連續(xù)供氣
吸氣反應(yīng)器吸附飽和后無法再生、整體更換

應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體、LED、激光、太陽能光伏行業(yè)
光纖行業(yè)
集成電路制造行業(yè)
高純氣體分析

產(chǎn)品特點
1.超高精度凈化
★ 專利催化劑技術(shù)，化學(xué)吸附雙效協(xié)同，雜質(zhì)深度≤1 ppb。
2.超長壽命設(shè)計
★ 采用國際知名品牌元件；Swagelok全自動軌道焊接 ，采用先進的防爆策略，保證產(chǎn)品安全、穩(wěn)定運行。
★ 催化劑壽命≥3年 | 整機運行≥15年
3.強抗波動性能
★ 按協(xié)議值120%冗余設(shè)計，工況波動下氣態(tài)指標穩(wěn)定輸出。
4.抗意外能力強
純化裝置具有斷電保持功能。
5.智慧物聯(lián)運維
★ 全流程自動運行+遠程監(jiān)控
★ 故障預(yù)警聯(lián)動+運行數(shù)據(jù)追溯系統(tǒng)

技術(shù)參數(shù)