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產(chǎn)品介紹
本純化器采用OW流程對氮?dú)膺M(jìn)行純化，原料氮?dú)膺M(jìn)入純化器后，經(jīng)過O(催化氧化)流程，利用高溫貴金屬催化劑特性，可將氮?dú)庵械碾s質(zhì)H₂，CO，CH4等雜質(zhì)轉(zhuǎn)化為H₂O，CO₂，再經(jīng)過W(常溫吸附反應(yīng)器)，可有效的吸附O₂ , H₂O, CO₂等雜質(zhì)，床層吸附飽和后，通入氫氣進(jìn)行再生。常溫吸附反應(yīng)器為一開一備設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)連續(xù)工作。

OW流程

工藝流程
催化劑脫除O₂、H₂、CO、THC；
吸附劑脫除O₂、CO₂、H₂O
吸附反應(yīng)器吸附飽和后通氫加熱再生，雙塔切換，連續(xù)供氣

應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體、LED、激光、太陽能光伏行業(yè)
光纖行業(yè)
集成電路制造行業(yè)
高純氣體分析

產(chǎn)品特點(diǎn)
1.超高精度凈化
★ 專利催化劑技術(shù)，化學(xué)吸附雙效協(xié)同，雜質(zhì)深度≤1 ppb。
2.高穩(wěn)定性設(shè)計(jì)
★ 采用國際知名品牌元件；Swagelok全自動軌道焊接 ，采用先進(jìn)的防爆策略，確保裝置安全、穩(wěn)定運(yùn)行
3.強(qiáng)抗波動性能
★ 按協(xié)議值120%冗余設(shè)計(jì)，工況波動下氣態(tài)指標(biāo)穩(wěn)定輸出。
4.抗意外能力強(qiáng)
純化裝置具有斷電保持功能。
5.智慧物聯(lián)運(yùn)維
★ 全流程自動運(yùn)行+遠(yuǎn)程監(jiān)控
★ 故障預(yù)警聯(lián)動+運(yùn)行數(shù)據(jù)追溯系統(tǒng)

技術(shù)參數(shù)